关键词：氦质谱检漏仪 氦质谱检漏设备 氢气检漏仪

  氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

  氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

  随着气密性检测手段的不断发展，国外一些公司开始使用性价比更高的氢气检漏仪进行检漏，氢气检漏法具有高精度，氢气检漏仪的可检漏率低至5*10-7mbarl/s，相当于0.1克/年，和氦质谱吸枪法的精度相同。并且具有以下几个特点：

  ATH-3000氢气检漏仪用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，是当今国际上最先进的干式无损检漏方法之一，无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，都具有独一无二的优势，特别是氢气检漏仪的低成本、免维护、高精度，无疑给广大企业带来了精密检漏的技术革新。 

  ATH-3000氢气检漏仪.可广泛应用于空调制冷领域、汽车散热器、汽车气缸、换热器、泵阀领域等，它具有以下优点：

  1、精度高。氢气检漏仪的可检漏率低至5*10-7mbarl/s，相当于0.1克/年，和氦质谱吸枪法的精度相同。

  2、安全性好。5%氢气和95%氮气的混合气体是符合国际标准的安全不可燃气体，无毒性和腐蚀性，绿色环保，不会对设备和环境产生不利的影响。

  3、适用性广。氢气检漏和氦气检漏、卤素检漏以及水泡法或者压降法检漏的原理是相似的，只是注入的气体不同。这几种检漏方法转换为氢气检漏非常方便，只需要改变气源，用氢气检漏仪进行检漏就可以了。

  4、响应速度快。氢气检漏仪的分析元件在探棒部分，不像氦气检漏仪那样需要将气体通过管道吸入到质谱室进行分析，氢气检漏仪的响应很快，在0.5~1s就会有响应。

  5、小巧便携，方便移动。氢气检漏仪的体积小、重量轻。

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