关键词：真空检漏仪 真空系统检漏 真空检漏仪设备 

  一、概述

  一个真空系统（真空系统检漏）， 经相当长时间抽气之后， 仍然达不到预期的真空度，可能的原因有： 抽气情况不良， 即抽气系统本身的问题，如真空泵工作不正常， 或者阀门等有故障。 放气， 即真空系统或容器内部存在气体或气源， 主要是由于真空清洁不良、材料不干燥或材料选择不当。 漏气， 即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。 这主要是真空系统连接不良，焊接处出现虚焊、裂缝所致。

  对于抽气系统的问题， 主要找出真空泵工作不良的原因加以排除即可。 关于材料放气问题，主要是在设计时，首先要考虑选择合适的材料和结构，然后是搞好真空卫生，使系统内表面保持清洁、干燥，必要时还要在真空条件下加热烘烤去气， 以加速去气过程的进行。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括：用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。 确定漏气率。 找出泄漏部位，以便修补堵漏。

  二、真空系统检漏方法

  由于真空系统的多样性，因此检漏方法也各式各样，专业厂家也设计制造了许多专门用于检漏的仪器 （ 检漏仪）。常用的检漏方法有加压检漏法、气压法、水压法、氦质谱法等，此外还有一种全新的氢气检漏法（真空系统检漏专家）。

  对检漏方法的一般要求

 （ 1）检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

 （ 2）反应时间短，可以提高工作效率；

 （ 3）能定位、定量，即不仅能够找出漏孔的位置，还能确定漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

 （ 4）能无损检漏，不使被检设备受到损坏和污染；

 （ 5）稳定性好，即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠；

 （ 6）所用 “ 示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件；

 （ 7）检漏范围大， 从大漏孔到小漏孔都能检测， 以减少检漏设备的数量和费用；

 （ 8）检漏时应洁净无油，满足一些特殊要求。

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