关键词：真空泵检漏仪，泵阀检漏装置，真空检漏仪器

  随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此，对于真空泵气密性要求特别严格。

  真空泵泄漏一直是生产厂家为止头疼的问题之一，不仅麻烦而且要花费大量时间、人力、精力以及财力，但又不一定能够很好解决泄漏这个关键性的问题。那么，该如何做好真空泵检漏工作呢?

  常用的真空泵检漏方法有：

  加压法。充入一定大气压的空气，放置24小时或更长，通过查看压力表上压力度数是否下降来判断是否泄漏。用这种方法可检到10-1Pa•m3/S左右的小漏率。

  涂抹肥皂水法。在怀疑泄漏位置涂抹肥皂水，看是否有肥皂泡出现，可检到10-2～10-3Pa•m3/S。

  氦质谱检漏仪：吸枪法可检到10-3～10-7 Pa•m3/S。

  以上方法，氦质谱检漏仪独具优势，检漏精度高，速度快，安全，但是氦气难制取，成本高，令很多生产厂家望而却步。为此，超钜科技自主研发生产出一款“超钜微检”真空泵检漏仪，检漏精度等同氦质谱检漏仪，气体成本仅是氦气的1/15~1/20，符合更多生产厂家使用需求。

  除此之外，“超钜微检”技术还广泛应用于空调制冷、净水净饮、冰箱冷柜、暖通泵阀、汽车等众多行业。

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