关键词：真空系统检漏仪 真空系统检漏 真空检漏方法

  真空系统的零泄漏是不存在的,但是泄漏可以分为实漏与虚漏。真空系统的漏气称为实漏,实漏是指大气通过真空系统中的各个密封连接处和焊缝进入真空系统的漏气流量,因此确定的真空装置,漏气流量是个常数。对于微车空调管路系统的密封性能而言,即要求尽量降低密封连接处和;缝的漏气量,以确保密封的可靠性。

  虚漏是指相对于实漏而言的物理现象,是一种不可避免的普遍现象。虚漏通常是指材料表面的放气、气体通过容器壁向系统内的渗透、各种材料的蒸汽,以及系统内的死空间内的气体流出等原因而引起的压力升高的现象。其泄漏源具体包括以下方面:

  ①、材料放气是相对于材料吸气而言的一种现象。当真空系统被抽成真空状态,容器构件的各种材料暴露于真空之下,便会将原来在大气压下所吸收和吸附的气体解析出来,这部分气体来源称之为放气。材料放气是构成真空系统虚漏量的主要方面,材料在正常大气压下吸附的气体量由材料本身的属性所决定。金属材料的常温放气源主要是自表面氧化膜所吸收的水汽,经烘烤加热后,其表面氧化膜中的水汽可以基本去除,使其常温放气速率显著降低。表面吸附的气体除去后的放气过程由体内扩散决定。

  ②、容器壁渗透的气流量是指大气通过容器壁结构材料扩散到容器中的气体流量。渗透现象对材料的属性具有一定的选择性,即对部分材料的渗透现象表现得比较明显,而对另外的材料而言,其渗透气流量基本可以忽略不计;同时其渗透的气流量还与温度、气体的压强有关,在材料种类、温度和气体压强确定时,渗透气流量是个定值,可以忽略不计。

  ③、影响真空泄漏的另一个方面就是液体或固体蒸发的气体流量。随着抽真空的进行,空气中水分或工艺中残留的液休不断地蒸发为气体;而在高真空条件下,固体也有一定的饱和蒸气压,尤其是在高温装置中。蒸发的气流量与温度的关系很大,当温度一定时,材料的饱和蒸气压也随之确定的,因而蒸发的气流量也是定值。

  作为一个真空系统而言(包括极高真空设备),都存在着气体通过器壁、微孔从高压力区向低压力区渗透的现象,绝对不漏的真空设备是不存在的,只能从真空设备的材料选择以及工艺等方面进行改善。由于虚漏源都是自然存在的物理现象,并不是真空设备本身密封失效而引起,因此在泄漏检查中应该尽可能排除虚漏对总体泄漏量的影响。

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